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名 称：上海载德半导体技术有限公司认 证：工商信息已核实
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产品分类
公司品牌
品牌传达企业理念
产品简介
技术规格：
- 单腔体或者多腔体(Cluster);
- 衬底尺寸：10cm x 10cm ~ 30cm x 30cm;
- 衬底类型：刚性(沉积时振荡)，柔性(Reel - Reel);
- 灯丝类型：石墨(美国**#6214706， #6427622)，传统灯丝;
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- 产品分类
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- 高温沉积系统(PECVD or Sputter)
- 热丝化学气相沉积系统(HWCVD)
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- 热蒸发镀膜机(Thermal Evaporator System)
- 紧凑磁控溅射镀膜机
- 磁体探针台(低温真空探针台加磁场)
- 等离子体增强原子层沉积系统(PEALD)
- 磁控溅射镀膜机(Sputter)
- 等离子体增强化学气相沉积系统(PECVD)
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- 美国Angstrom原子层沉积系统(ALD)
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