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产品分类
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产品简介
技术规格:
- 多矩形阴极;
- 射频或直流溅射(RF, DC);
- 基底尺寸:30cm x 40cm;
- 沉积时衬底振荡;
- 常用于ITO, AZO等膜层的沉积;
- 均匀性:优于5% (沉积TCO或金属薄膜);
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