快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备。快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用。

VPO-300是一款很有特点的快速退火炉，有非常大的退火空间，适合大尺寸样品的热处理。

仪器特点：

- 快速热处理、快速热退火 RTP / RTA；

- 可在真空、甚至于高真空环境使用；

- 加热区域尺寸：300毫米 X 300毫米；

- 广泛用于太阳能电池片快速退火工艺，如156mm X 156mm电池片，300mm X 300mm电池片等；

参考用户：

中科院上海技术物理所，中国电子科技集团41所；