手机版 |
产品分类 |
其他
Ecopia HMS-3000霍尔效应测试仪
Ecopia HMS-3300高温霍尔效应测试仪
Ecopia HMS-5000全自动变温霍尔效应测试仪
Ecopia HMS-7000光霍尔效应测试仪
真空快速退火炉(RTP)
RTP-100-RP快速退火炉(中温/低价位)
大尺寸快速退火炉(12英寸) - 适合光伏样品
EPS-300手动探针台
EPS-1000探针台
SPS-2200手动探针台
半导体行业专用仪器
喷射化学气相沉积设备(Spray CVD)
石墨烯生长炉
低压化学气相沉积系统(LPCVD)
二维材料生长设备(MoS2, h-BN, CNT等)
快速热化学气相沉积系统(RTCVD)
金属有机化学气相沉积系统(MOCVD)
光刻机
等离子去胶机
匀胶机,旋涂仪
半自动球焊机,焊线机(Wire Bonder)
制冷设备
液氦液氮低温恒温器(开循环)
闭循环致冷机、低温恒温器
超低振动闭循环致冷机(3~5纳米振动水平)
超高真空闭循环致冷机
顶端装样方式低温恒温器(Top Loading)
ARS气体混合低温恒温器
制样/消解设备
反应离子刻蚀机RIE
Harrick Plasma等离子清洗机
离子束刻蚀系统IBE
光刻机/紫外曝光机(Mask Aligner)
等离子体热处理炉
电化学仪器
WEP CVP21电化学C-V剖面浓度分析仪- ECV Profiler
QCM-I耗散型石英晶体微天平
OWLS光波导模式谱仪
比表面积测定仪
SKP5050扫描开尔文探针系统
Rame Hart接触角测量仪
包装行业专用仪器
MEMS用高真空密封机
相关仪表
变场磁体Variable Flux Magnet
测厚仪
光反射薄膜厚度测量仪
光谱检测分析仪
激光拉曼光谱仪
光学仪器及设备
光谱型椭偏仪Ellipsometer
联系方式 |
产品系列
RTP-100/150快速退火炉为德国优尼坦公司生产,分为RTP-100, RTP-150, RSO-200,VPO-300共四个型号,分别对应4英寸、6英寸、8英寸、12英寸的真空快速退火炉产品。
技术规格:
- **温度:1200摄氏度;
- 升温速率:150摄氏度/秒;
- 降温速度:200摄氏度/分钟 (1000摄氏度-->400摄氏度);
- 温控均匀性:≤ 1.5%设定温度;
- 加热方式:红外卤素灯,顶部及底部加热;
- 灯管数量及功率:18支/20千瓦(RTP-100),24支/21千瓦(RTP-150);
- 腔体冷却:水冷方式;
- 衬底冷却:氮气吹扫;
- 工艺气路:MFC控制,*多4路 (氮气、氩气、氧气、氢氮混合气等);
- 主机尺寸及重量:505mm x 504mm x 420mm (W x D x H),约55Kg;
仪器特点:
- 真空快速退火炉,有低真空型号(10-3 hPa)、高真空型号(10-6 hPa);
- 可在不同气氛环境下使用,如惰性气体、氧气、氢氮混合气等;
- 控制方式:SIMATIC, SPS人机界面控制,7英寸触摸屏;
- 可存储50个程序,每个程序*多分为50段控制;
- 全自动智能控制,包括温度、时间、气体流量、真空度、循环水均可自动设置;
- 优异的温控均匀性,**的工艺重现性;
- 小尺寸台式设计;
应用领域:
- 离子注入/接触退火;
- 快速热处理(RTP),快速退火(RTA),快速热氧化(RTO),快速热氮化(RTN);
- 可在真空、惰性气氛、氧气、氢气、混合气等不同环境下使用;
- SiAu, SiAl, SiMo合金化;
- 低介电材料;
- 晶体化,致密化;
- 太阳能电池片键合;
等等...
参考客户:
西安交通大学、西安电子科技大学、中国科技大学、江汉大学、中科院上海技术物理所、中科院苏州纳米所、北京航天仪器研究所、京东方、武汉光迅、能华微电子等。